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噴淋式兆聲波清洗噴頭，是以噴嘴的形式對被清洗物進行清洗。其工作原理是將兆聲波換能器嵌入到噴嘴中，使流動的水流將兆聲波能量傳送到被清洗物表面，從而達到清洗的目的。噴淋式兆聲波清洗噴頭的優(yōu)勢在于它是點對點直接對被清洗物表面進行處理，可以讓聲能焦點直接接觸被清洗物的表面。相比于槽式兆聲清洗機，噴淋式兆聲波清洗噴頭的兆聲轉換效率更高，而且避免了槽式由于液體深度不同而造成的聲場強度不均的問題。另外，由于噴淋式兆聲波清洗噴頭使用的是流動的液體，不會存在有殘留的臟污對被清洗物造成二次污染的問題。

圖1.噴淋式兆聲波清洗噴頭原理示意圖

相對于批量的半導體晶圓清洗來說，槽式兆聲清洗無疑是清洗效率更高的選擇。因此為了節(jié)約成本、提高效率，在90-65nm工藝中，通常是以槽式清洗為主。但是對于槽式兆聲波清洗來說，交叉污染的風險會比較大，所以在更低線寬的工藝中，由于對于雜質的容忍度更低，單片清洗技術的占比會更高。為了避免反復清洗帶來的高成本，降低廢品率是晶圓生產中的一個重要手段。在一個芯片的生產過程中清洗工序是重復進行的，晶圓清洗步驟數(shù)量占整個芯片制造過程工序的30%以上。而且生產越往后推進清洗工序的數(shù)量以及重要性也會相應提升，為了保證良品率，幾乎每道工序都需要進行清洗。據估計，每月十萬片的DRAM工廠，1%的良率提升可為客戶每年增加3000-5000萬美元的利潤。

圖2.東方金榮超聲Siansonic的噴淋式兆聲波清洗噴頭清洗半導體晶圓

噴淋式兆聲波清洗噴頭，可以搭配運動組件來實現(xiàn)整個二維平面的清洗，適合包括半導體晶圓在內的各種平面基材的清洗。Siansonic噴淋式兆聲波清洗噴頭全面采用非金屬的防腐材質，可適應各種酸堿及有機溶劑，另外采用獨特的換能器貼合技術，使其具有更高的穩(wěn)定性和耐久性。北京東方金榮超聲電器有限公司可為各種不同領域的應用，提供多種類型的兆聲波清洗系統(tǒng)及整體解決方案。